| 适用行业 | 适用于半导体行业 | |
| 适用产品 | 半导体行业产品 | |
| 型 号 | XTS-600 | XTS-800 |
| 系 统 | 采用特制耐高温长轴型马达及强力多翼式风叶，强力吸风式机械可得到最佳均匀分布温度，安静低噪音，节约能源。 | |
| 外部电源 | 可提供各国电源如110V/220V/380V/415V...（50/60）Hz | |
| 消耗电力 | 8KW | 12KW |
| 温度范围 | RT+20-200℃ | |
| 温度波动度 | ±1℃ | |
| 温度均匀度 | 空载时：±2.5%℃ | |
| 升温时间 | 空载时：50-200℃在40分钟内 | |
| 材 质 | 内中桶#SUS镜面不锈钢板，内室无缝焊接保护被加工件不受任何污染，外部#SS41钢板粉体烤漆，高密度进口玻璃纤维棉隔热保温 | |
| 发热体 | 特制无尘散热管型电热器 | |
| 安全装置 | 超温防止保护装置，马达过热电流保护，短路过电流，欠相保护 | |
| 温度控制 | 输入：CAK型，SSR（SCR）接点方式输入，精确度特加，自动PID控制，LED数字显示 | |
| 设备特点 | 洁净度：100级 或 1000级 | |
| 内部尺寸:宽深高 | 600*600*1000 | 800*800*1000 |
| 标准配件 | 高效过滤器、微差压力计、计时器、可调隔层板、单段式温度控制器 | |
| 选择品 | 1点（多点）温度记录器、可程式温度控制器、不锈钢冲孔盘、马达转速调节器、三（四）色指示灯 | |
