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Double door without oxidation oven for semiconductor industry

Double door without oxidation oven for semiconductor industry

Double door without oxidation oven for semiconductor industry
产品名称:Double door without oxidation oven for semiconductor industry
所属类别:
产品人气:1016
更新日期:2015/1/8 11:28:25
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产品介绍

适用行业适用于半导体行业
适用产品半导体行业产品
型   号WTS-450*2WTS-500*2
   采用特制耐高温长轴型马达及强力多翼式风叶,强力吸风式机械可得到最佳均匀分布温度,安静低噪音,节约能源。
外部电源可提供各国电源如110V/220V/380V/415V...50/60Hz
消耗电力2 KW*23 KW*2
温度范围RT+20-200
温度波动度±1
温度均匀度空载时:±2.5%℃
升温时间空载时:50-200℃在40分钟内
   内中桶#SUS镜面不锈钢板,内室无缝焊接保护被加工件不受任何污染,外部#SS41钢板粉体烤漆,高密度进口玻璃纤维棉隔热保温
发热体特制无尘散热管型电热器
安全装置超温防止保护装置,马达过热电流保护,短路过电流,欠相保护
温度控制输入:CAK型,SSRSCR)接点方式输入,精确度特加,自动PID控制,LED数字显示
设备特点充氮气,含氧量:2% 或 100PPM 或 无要求
内部尺寸:宽深高(450*2)*450*450(500*2)*500*500
标准配件流量计、计时器、可调隔层板、单段式温度控制器
选择品1点(多点)温度记录器、可程式温度控制器、不锈钢冲孔盘、马达转速调节器、三(四)色指示灯


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